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      半导体企业应用超纯水设备项目正式运行

      作者:发布时间:2021-01-12

        一、项目名称

        江阴某半导体企业应用超纯水设备项目

        二、项目背景

        半导体材料是半导体产业链上游中的重要组成部分,在集成电路、分立器件等半导体产品生产制造中起到关键性的作用。目前全球的半导体产业链正向中国大陆转移,中国晶圆厂扩产的步伐已逐渐加快。伴随着国内晶圆厂的投产,将产生更多半导体材料的需求,市场需求空间已被打开,由于半导体元件集成度高,生产线窄,对水质的要求特别高,超纯水成为了电子行业用水的“标配”。

        三、项目工艺

        自来水进入原水箱,通过原水泵增压,经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器,到达反渗透单元,经两级反渗透过滤进入EDI单元,达到电阻率15MΩ·cm(25℃)进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式,经纯水供水泵增压,通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管,到达使用点。

        四、设备公共条件需求

        1、原水要求:进水水量≥13m3/h,进水压力0.3-0.4MPa(恒压)。

        2、电源要求:电压:380V 50Hz和220V 50Hz。

        3、排水要求:设备附近1米需要业主提供排水沟或者排水管。

        4、设备间要求:设备间温度15-35℃,通风和照明设备。

        5、气源要求:氮气≥99.999%

        6、工程范围:设备进出水口1米处。

        五、莱特莱德超纯水设备设计原则

        1、采用先进、实用、可靠的水处理技术,确保处理后的水稳定达标。严格执行国家环保政策,符合国家有关法律、法规、标准、规范以及地方法规;

        2、根据进出水要求,选用成熟可靠、高效节能、占地少、经济实用的处理工艺,确保处理效果,减少项目投资及日常费用;

        3、工艺流程简洁通畅,整体布置简洁、合理、美观符合厂区统一规划,要求水处理设施布局与周边环境协调,不对周边环境造成二次污染;

        4、控制总体投资,工程造价合理,保证长期安全平稳运行,降低日常运行成本;

        5、管线合理布置充分利用现有的设置及现有的地形条件;处理施设整体工程施工周期短,安装、检修方便,易于管理;安全措施得当,避免隐患。

        6、各功能?橛呕楹隙,从而保证了整个系统的高性能与高质量,使产品水完全达到甚至优于用水水质标准。

        7、在保证系统稳定、可靠运行的前提下,设计上提高整个系统的自动化水平;主要设备选择以先进、成熟为原则,尽量降低工程投资和运行费用。

        莱特莱德超纯水设备中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力;ぷ爸、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比。

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